超高分辨冷场扫描电子显微镜
学科领域：广泛应用于物理、化学、生物、地学、矿物、金属、半导体、陶瓷、高分子、复合材料、纳米材料等领域的研究和产品检验
主要功能：
1.观测块状金属（不包括磁性材料）、非金属固体材料、纤维、薄膜的表面或断面的微区形貌；
2.微粒或纤维形状的观察及尺寸分析；
3.材料及电子器件失效分析的测试；
4.高分子、陶瓷、混凝土、生物、矿物、纤维等无机或有机固体材料；
5.进行材料表面微区成分的定性、定量分析，在材料表面做元素的点、线、面分布分析；
主要技术特点：
1.优秀的低加速电压成像能力，1kv分辨率可达1.3nm；
2.Upper探头可选择接受二次电子像或背散射电子像；
3.可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能；
4.标配有冷指、电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能；
5.仪器的烘烤维护及烘烤后的透镜机械对中均可由用户自行完成。
主要技术指标：
1.加速电压：0.1～30 kV
2.观测倍率：30～2,000,000
3.二次电子分辨率：1.0nm（加速电压15kV）1.3nm（加速电压1kV）
4.工作距离：0.5～30mm